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MD-140シリーズ 対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ Piezo Actuator MD-140
  • 顕微鏡のレボルバー・対物レンズ間に取付けて対物レンズを光軸方向に動かし、高精度・高速なレンズフォーカスが可能。
  • 変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、高精度な動作を発生。
  • 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能・ローコスト
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MD-140L 180 0.2 120 0.15
MD-140LS 144 3 120 0.15 ひずみゲージ
MD-140LC 144 1.5 120 0.15 静電容量

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