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MC-140L 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MC-140
  • 積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
  • 装置組込に特化した小型設計。
  • 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
  • 真直性に優れます。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MC-140L 180 0.2 500 0.15

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