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MB-10シリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MB-10
  • 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
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型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MB-10XL 12 0.1 560/-/- 0.25
MB-10ZL 12 0.1 -/-/480 0.25
MB-10XYL 12 0.1 440/490/- 0.25
MB-10XZL 12 0.1 420/-/410 0.25
MB-10XYZL 12 0.1 340/420/340 0.25

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