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MAP-BA4Zシリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MAP-BA4Z
  • 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
  • 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
  • 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
  • 長期間にわたりメンテナンス不要。
  • 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MAP-BA4Z 100 0.1 730 3
MAP-BA4ZS 85 2 730 3 ひずみゲージ
MAP-BA4ZC 85 0.9 730 3 静電容量

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