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MA-140シリーズ 1・2・3軸ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MA-140
  • 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
  • 1軸(X軸もしくはZ軸)のピエゾステージです。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MA-140XL 180 0.3 320 0.15
MA-140XLS 152 2 320 0.15 ひずみゲージ
MA-140XLC 152 1 320 0.15 静電容量
MA-140ZL 180 0.3 290 0.15
MA-140ZLS 152 2 290 0.15 ひずみゲージ
MA-140ZLC 152 1 290 0.15 静電容量

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