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M-3917 3軸ナノマニピュレータシステム
ピエゾステージシステム Piezo Stage System M-3917 SEM用3軸ナノマニピュレーターM-3917

MN-8000XD:2台+MN-6500ZD:1台、専用ドライバ、専用操作BOX、固定台によるシステムです。

  • 粗動モードストローク8mm(XY軸)、6.5mm(Z軸)
  • 微動モード(各軸)ストローク20μm、分解能0.5nm
  • 小型軽量なためSEMに容易にセットできます。
型 式 ストローク

(μm)

最小ステップ

(μm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MN-8000XD(XY軸) 8000 0.1
MN-6500ZD(Z軸) 6500 0.1

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