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CA・CBシリーズ 静電容量型変位計センサプローブ
CAP Senser CA・CBシリーズ
使用環境
  • 0~80°C (精度を保つため、測定時には常温、一定環境で使用してください)
  • 85%RH以下(結露なきこと)
  • 直射日光の当たらない、腐食性物質を含まない、ほぼ1気圧の室内
型 式 FS 測定レンジ

(μm)

出力感度

(μm/V)

基準距離

(μm)

最小分解能

(nm)

CA50 FS20(±10)
FS50(±25)
2
5
20
50
0.2
0.5
CA100 FS50(±25)
FS100(±50)
5
10
50
100
0.5
1
CD500 FS300(±150)
FS400(±200)
FS500(±250)
30
40
50
250
300
350
3
4
5
CB1K-01 FS100(±50)
FS200(±100)
FS500(±250)
FS1000(±500)
10
20
50
100
100
200
500
600
1
2
5
10
CB2K-01 FS1000(±500)
FS2000(±1000)
FS3000(±1500)
FS4000(±2000)
100
200
300
400
600
1200
1700
2200
10
20
30
40

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