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MOB-Aシリーズ 対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ Piezo Actuator MOB-A
    対物レンズを光軸方向に移動させることでフォーカス調整することができます。ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決めが可能です。弾性案内機構を採用しており摩擦・摩耗する箇所がありません。長期にわたり精度が安定でメンテナンスが不要です。各種顕微鏡・対物レンズに合わせたねじアダプタをご用意しており簡単に取付けできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度・高安定な位置決めが可能です。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MOB-A1 400 0.45 190
MOB-A1S 320 7 190 ひずみゲージ
MOB-A1C 320 4 190 静電容量
MOB-A2 800 0.5 130
MOB-A2S 640 11 130 ひずみゲージ
MOB-A2C 640 6 130 静電容量

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