- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (垂直設置) (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MHS-F1 | 20 | 0.1 | 3800 | 16 | – |
| MHS-F1C | 16 | 0.5 | 3800 | 16 | 静電容量型 |
| MHS-F2 | 40 | 0.2 | 1400 | 11 | – |
| MHS-F2C | 32 | 0.5 | 1400 | 11 | 静電容量型 |
| MHS-F4 | 80 | 0.4 | 1100 | 10 | – |
| MHS-F4C | 64 | 0.8 | 1100 | 10 | 静電容量型 |
| MHS-F6 | 120 | 0.6 | 1000 | 6.5 | – |
| MHS-F6C | 96 | 0.8 | 1000 | 6.5 | 静電容量型 |
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- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (垂直設置) (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MHS-F1 | 20 | 0.1 | 3800 | 16 | – |
| MHS-F1C | 16 | 0.5 | 3800 | 16 | 静電容量型 |
| MHS-F2 | 40 | 0.2 | 1400 | 11 | – |
| MHS-F2C | 32 | 0.5 | 1400 | 11 | 静電容量型 |
| MHS-F4 | 80 | 0.4 | 1100 | 10 | – |
| MHS-F4C | 64 | 0.8 | 1100 | 10 | 静電容量型 |
| MHS-F6 | 120 | 0.6 | 1000 | 6.5 | – |
| MHS-F6C | 96 | 0.8 | 1000 | 6.5 | 静電容量型 |