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MAP-Fシリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MAP-F
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 180μmストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
型 式/可動軸 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MAP-F11 /X軸 180 0.3 240/-/- 0.15

MAP-F11S/X軸

152 2 240/-/- 0.15 ひずみゲージ
MAP-F11C/X軸 152 1 240/-/- 0.15 静電容量型

MAP-F12 /Z軸

180 0.3 -/-/210 0.15

MAP-F12S/Z軸

152 2 -/-/210 0.15 ひずみゲージ
MAP-F12C/Z軸 152 1 -/-/210 0.15 静電容量型

MAP-F21 /XY軸

180 0.3 180/180/- 0.15
MAP-F21S/XY軸 152 2 180/180/- 0.15 ひずみゲージ
MAP-F21C/XY軸 152 1 180/180/- 0.15 静電容量型
MAP-F22 /XZ軸 180 0.3 180/-/180 0.15
MAP-F22S/XY軸 152 2 180/-/180 0.15 ひずみゲージ
MAP-F22C/XZ軸 152 1 180/-/180 0.15 静電容量型
MAP-F3 /XYZ軸 180 0.3 230/180/140 0.15
MAP-F3S/XYZ軸 152 2 230/180/140 0.15 ひずみゲージ
MAP-F3C/XYZ軸 152 1 230/180/140 0.15 静電容量型

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