| 型 式/可動軸 | ストローク
（μm） |
分 解 能
（nm） |
共振周波数
X/Y/Z（Hz） |
剛 性
（N/μm） |
内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MAP-F11 /X軸 | 180 | 0.3 | 240/-/- | 0.15 | – |
|
MAP-F11S/X軸 |
152 | 2 | 240/-/- | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F11C/X軸 | 152 | 1 | 240/-/- | 0.15 | 静電容量型 |
|
MAP-F12 /Z軸 |
180 | 0.3 | -/-/210 | 0.15 | – |
|
MAP-F12S/Z軸 |
152 | 2 | -/-/210 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F12C/Z軸 | 152 | 1 | -/-/210 | 0.15 | 静電容量型 |
|
MAP-F21 /XY軸 |
180 | 0.3 | 180/180/- | 0.15 | – |
| MAP-F21S/XY軸 | 152 | 2 | 180/180/- | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F21C/XY軸 | 152 | 1 | 180/180/- | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F22 /XZ軸 | 180 | 0.3 | 180/-/180 | 0.15 | – |
| MAP-F22S/XY軸 | 152 | 2 | 180/-/180 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F22C/XZ軸 | 152 | 1 | 180/-/180 | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F3 /XYZ軸 | 180 | 0.3 | 230/180/140 | 0.15 | – |
| MAP-F3S/XYZ軸 | 152 | 2 | 230/180/140 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F3C/XYZ軸 | 152 | 1 | 230/180/140 | 0.15 | 静電容量型 |